SELPA (대면적 자동화 미립자 분석장비) 는,

국내에서 최초로 개발된 SEM/EDS 자동화 검사 장비 입니다.

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47mm 규격의 멤브레인 필터를 한번에 4개가 장착할 수 있으며,

프로그램에서 분석조건을 설정해 놓으면 스테이지가 자동으로 이동하면서 EDS 분석 S/W 와의 통신을 통해

형상과 성분비 등의 결과를 얻을 수 있습니다.

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또한 대형시료(약 100mm X 100mm) 를 파괴하지 않고 한번에 챔버에 장착할 수 있어

비파괴 분석이 가능 합니다. (고객사 샘플 및 분석조건에 맞추어 설계변경 가능)

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미세 입자의 자동화 분석에 최적화 개발된 SELPA 는 다양한 산업분야에 응용할 수 있는

SEM/EDS 자동화 분석장비로써 고객의 요구에 맞춤형으로 소중히 대응하겠습니다.

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DEMO 장비를 보유하고 있어 성능 테스트가 가능하며,

상세한 상담이 필요하시면 언제든지 연락 바랍니다.